上海临港化合物半导体4吋及6吋量产线项目（三期）工程总承包 FMCS系统
该项目是上海临港新片区导入的上海市重大实施项目，定位于化合物半导体战略性材料和器件技术开发平台和量产线，致力于解决化合物半导体材料与器件的前瞻性核心技术，支撑我国化合物半导体集成电路产业的发展。项目建筑面积约为30802.9平方米。
本项目涉及系统：洁净空调系统、一般空调系统、一般废气系统、工艺真空系统、清扫真空系统、PCW系统、低温冷冻水系统、热回收热水系统、压缩空气系统、冷却水系统等。
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