重庆三安半导体碳化硅衬底项目自控专业
项目位于重庆西永微电子产业园,项目占地面积约276亩,由三安光电独资建立和运营,利用自研SiC衬底工艺,规划达产后生产8吋碳化硅衬底48万片/年。
项目总投资额约70亿元。
本工程涉及:衬底厂房的空调系统、PCW系统,冷热水系统、空压系统、板换系统、锅炉系统,化学品库的空调系统,纯水站的空调系统,第三方系统的FMCS整合等自动化控制。
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